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    CKD工藝氣體用減壓閥PGM系列性能介紹可作為選型依據

    更新時間:2023-02-13      點擊次數:888

    CKD的工藝氣體減壓閥擁有專業密封性能、滯后性和重復性。


    品特點


    使用示例

    高耐腐蝕?高品質材料

    優化設計

    高密封性

    高微小流量控制性

    減少遲滯

    豐富的產品陣容

    使用示例


    蝕刻、成膜裝置中工藝氣體的高精度控制

    壓力控制·減壓

    image.png


    壓力穩定化

    image.png




    ● 采用高耐腐蝕材料

    ● 實施電解研磨、超精密加工、超精密清洗


    image.png.

    02 優化設計




    ●盡量減少滑動部

    ● 膜片結構的優化

    ● 優化材質,實現平穩動作



    03 高密封性




    有助于工藝穩定化

    ● 閥座部的優化設計和超精密加工

    ● 最大限度抑制閥閉動作時的2次側泄漏(流出)


    image.png

    04 高微小流量控制性




    實現穩定且平穩的動作

    ● 閥座部形狀的優化設計

    ● 微小流量下也可穩定控制


    image.png

    05 減少遲滯




    安全滿足目標壓力。

    ● 采用高品質材料

    ● 超精密加工


    image.png

    06 豐富的產品陣容

    image.png





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